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横河记录仪
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质量流量计

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【产品名称】：FS4003流量传感器

详细介绍：

FS4000是广州纹徕仪器仪表有限公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
  - 支持多种连接方式，易于安装与使用
    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
    - 零点稳定度高
    - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
    - 低功耗、低压损
    - 响应速度快
机械尺寸:

性能参数	FS4003	FS4008	单位
通径	3	8	mm
最大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重复性	0.75		%
零点输出飘移	±30		mV
输出飘移	0.12		%/^oC
响应时间	100		ms
工作电源	8~18Vdc,100mA
输出方式	线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
最大流量压损	100	600	pa
最大工作压力	0.5		MPa
工作温度	-10 ~ +55		^oC
存储温度	-20 ~ +65		^oC
工作湿度	<95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式	空气（或其他气体），20^oC，101.325kPa
重量	57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)		g

资料来源：广州纹徕仪器仪表有限公司 http://www.gzwlyb.com 日期：2013-10-23

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